纳米均质机的粒度最小能均质到20 纳米以下。不过，一般情况下，纳米均质机可将物料均质至 100 纳米以下，如微射流纳米均质机通常可把药物粒径分散至 20 - 150 纳米以下，能在最短时间内提供所需能量并获得粒径较小的均匀乳液。一些高性能的设备在特定条件下，对于某些易于处理的物料，有可能实现更小的粒度，如 20 纳米以下，但这需要根据具体的设备型号、物料性质以及工艺参数等因素来确定。例如，有文献表明用薄膜分散 - 微射流均质机制备的雄黄纳米脂质体平均粒径为 102.3 纳米，维 E 乳膏利用微射流均质机处理后的纳米乳的平均粒径为 65 纳米。
英国 homogenisingsystems 的喷射碰撞均质系统处理后产品能达到高度均匀，平均粒度小于 200 纳米。美国 phd 高压均质机用于纳米均质领域，均质后样品粒度可≤100 纳米，且分布均匀，样品稳定性强。
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