以下是复合真空计校准的一般规范：
校准前准备
环境条件：环境温度应在（10~40）℃，温度波动不大于 3℃/h；相对湿度≤80%；周围无影响正常校准的热源、电磁干扰，无剧烈振动，无腐蚀性气体。
校准用气体：纯度不低于 99.9% 的氮气。
校准用设备：如电容薄膜真空计、电离真空计等标准设备，且应经过计量技术机构校准合格，并在有效期内。
外观检查：被校复合真空计外观应完好，无影响正常工作的机械损伤，各种接口符合规定要求，应标有名称、型号、制造厂及出厂序号等信息。
校准项目与方法
热偶部分校准
连接与预热：将未开封的热偶规管通过相应缆线与仪器连接，并使管座垂直向上，接通电源预热 15 分钟。
调整电流：调整加热电流至热偶管原始工作电流值，把加热电流开关或按钮打至测量位置，此时指示表头内读数即为热偶管内的真空度，其数值应符合仪器技术要求。
电离部分校准
连接与通电：将未开封的电离规管通过相应缆线与仪器连接，接通电离计工作电源。
调节电流与读数：调节发射电流为 5mA，将各开关或按钮置于相应的档位后，读取高真空指示表头内的读数，即为电离规管内的真空度，其数值应符合仪器技术要求。
整体示值校准
动态比较法（适用于一定压力范围）：若校准范围在（10⁻¹～10⁻⁴）Pa，可采用动态比较法。如打开机械泵抽气，打开旁通阀门抽气，在相关真空计读数小于一定值后关闭旁通阀门，打开其他阀门并启动分子泵对校准室抽气。关闭特定阀门，待压力小于一定值且真空计正常工作 1 小时以上记录本底压力。然后调节阀门向校准室引入一定压力的氮气，使压力稳定在不同校准点附近，待压力稳定后分别记录被校复合真空计与标准规的示值，计算示值误差。
动态流量法（适用于一定压力范围）：对于（10⁻⁴～10⁻⁷）Pa 范围的校准，可使用动态流量法。如打开机械泵和相关阀门抽气，待条件满足后打开相关真空计并稳定一定时间后调零。关闭部分阀门，向特定容器中充入一定压力的氮气，通过公式计算充入压力值。再通过特定阀门向校准室进气，调节压力使其稳定在不同校准点附近，记录被校复合真空计与标准规的示值，得到示值误差。
校准结果处理
计算校准结果的相对误差，公式为 δ=(P₃ - P₄)/P₄×100%，其中 δ 为校准结果的相对误差，P₃为被校真空计的示值，P₄为校准设备的标准示值。
校准数据按四舍五入及偶数法则进行修约，保留的有效位数应使末位数与测量结果不确定度的量值相对应。
校准结束后应出具校准证书，校准证书中应包括校准条件下的各种数据，并给出相应校准结果的不确定度，还应包括委托方要求的、说明校准结果所必需的和所用方法要求的全部信息。
校准周期
复合真空计校准周期一般不超过 12 个月。
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